Top1北方华创2022年营收：120.8亿元控股股东：北京七星华电科技集团有限责任公司(33.70%)实际控制人：北京电子控股有限责任公司(控股比例：43.15%)简介：中国大陆的龙头半导体设备商，主要以微电子技术为核心的电子专用设备及新型电子元器件的研发、生产、销售和服务业务。其中电子专用设备包括：微电子设备、绿色环保电池设备、真空电子制造设备三个系列；新型电子元器件包括：厚、薄膜混合集成电路，高精密阻容元件，石英晶体器件，模块电源四个系列。
Top2中微公司2022年营收：47.4亿元第一大股东：上海创业投资有限公司(15.64%)创始人：尹志尧简介：中微公司是一家高端半导体微观加工设备公司。公司基于在半导体制造设备产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备领域。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装。公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基LED设备制造商。
Top3盛美上海2022年营收：27.6亿元控股股东：ACMRESEARCH,INC.(82.50%)实际控制人：HUIWANG(控股比例(上市公司)：45.10%)简介：盛美上海以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备。公司立足自主创新，通过多年的技术研发和工艺积累，成功研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，可应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域，可有效解决刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题，并大幅减少浓硫酸等化学试剂的使用量，在帮助客户降低生产成本的同时，满足节能减排的要求。
Top4长川科技2022年营收：25.8亿元控股股东：赵轶(23.42%)实际控制人：赵轶(控股比例(上市公司)：23.42%)Top5拓荆科技2022年营收：16.9亿元第一大股东：国家集成电路产业投资基金股份有限公司(19.86%)创始人：吕光泉简介：拓荆科技于2022年4月上市，聚焦于半导体薄膜沉积设备，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备和次常压化学气相沉积设备三个产品系列，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已展开10nm及以下制程产品验证测试。公司的产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM芯片和64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线。
Top6华海清科2022年营收：16.5亿元控股股东：清控创业投资有限公司(28.19%)实际控制人：天府清源控股有限公司(控股比例(上市公司)：28.19%)简介：华海清科于2022年6月上市，主要产品为化学机械抛光设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺，公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线，产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售，是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。
Top7芯源微2022年营收：13.6亿元第一大股东：沈阳先进制造技术产业有限公司(10.61%)董事长：宗润福简介：芯源微主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸单晶圆处理及6英寸及以下单晶圆处理。
Top8新益昌2022年营收：11.3亿元控股股东：胡新荣(36.85%)实际控制人：胡新荣(控股比例(上市公司)：37.22%)简介：新益昌主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领先地位。
Top9华峰测控2022年营收：10.7亿元控股股东：天津芯华投资控股有限公司(27.63%)实际控制人：孙镪(控股比例(上市公司)：3.11%)简介：华峰测控主营业务为半导体自动化测试系统的研发、生产和销售，产品主要用于模拟、数模混合、分立器件和功率模块等集成电路的测试。
Top10至纯科技2022年营收：7.9亿元控股股东：蒋渊{联席股东：陆龙英、尚纯投资咨询中心}(22.05%)实际控制人：蒋渊(控股比例(上市公司)：22.05%)简介：至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等。